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一種多晶硅破碎裝置的制造方法 【技術領域】 [0001]本實用新型涉及多晶硅破碎技術領域,特別是涉及一種利用水電效應的多晶硅破碎裝置。【背景技術】

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圖2 含有冷氫化工序的改良西門子法多晶硅生產工藝流程簡圖 此工藝主要包括制氫、還原、冷氫化、干法尾氣回收、精餾提純、成品破碎包裝、硅芯拉制、廢氣