加工硅粉的設備

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多晶硅是太陽能電池與半導體設備的主要原材料。該工藝將工業硅粉與HCl反應,加工成SiHCI3,再讓SiHCl3在H2氣氛的還原爐中還原沉積得到多晶硅。冶金法制備太陽能級多晶。