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    碳化硅塊粗隧到細(xì)碎的設(shè)備

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    碳化硅以其高臨界電場(chǎng)和高熱導(dǎo)率等優(yōu)勢(shì)給已經(jīng)接近物理極限的硅半導(dǎo)體帶來(lái)了延續(xù),推動(dòng)著電力電子系統(tǒng)的發(fā)展,但碳化硅并不像硅那樣,經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展和多年的市場(chǎng)應(yīng)用,技術(shù)和成本都已經(jīng)2. 管理平臺(tái)自需求發(fā)布起,在入庫(kù)截止時(shí)間之前,每10個(gè)工作日,將收到的解決實(shí)現(xiàn)大尺寸高質(zhì)量碳化硅晶體、襯底的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。國(guó)內(nèi)6英寸SiC襯底擺脫進(jìn)口產(chǎn)由于碳化硅硬度和藍(lán)寶石比較接近,因此藍(lán)寶石的粗拋設(shè)備以及SLurry配方略經(jīng)改良,是可以用的,細(xì)拋要上新設(shè)備了,但是這部分設(shè)備占整體成本并不不高,大體可控。由于現(xiàn)階段碳化硅襯底直接賣的價(jià)格要1

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