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    固態(tài)裝配諧振器smr

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  • 薄膜體聲波濾波器的材料、設(shè)計(jì)及應(yīng)用詳細(xì)解析 RF/無線 電子發(fā)燒友網(wǎng)

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    2017年3月20日 固體裝配型薄膜體聲波諧振器(FBAR)機(jī)械強(qiáng)度好,尺寸小,可在硅片上三維 solid mounted resonator film bulk acoustic resonators (SMRFBARs) 

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    2017年8月22日 MEMS頻率器件主要的部分是MEMS諧振器,它是一種機(jī)電換能器,本質(zhì)上 . 圖6是固體裝配型諧振器(SMR)的結(jié)構(gòu)示意圖,頂部是諧振器的關(guān)鍵 

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    成布拉格聲學(xué)反射腔。終形成的諧振器被稱為"固體裝配型體聲. 波諧振器"(BAWSMR)。 布拉格反射板是一種由不同折射率的材料交替疊加構(gòu)成的多層. 結(jié)構(gòu)。

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  • 基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫

    2011年1月6日 體聲波(BAW)和薄膜腔聲諧振器(FBAR)濾波器被分別用來替代移動(dòng)電話中的傳統(tǒng)射頻濾波器, 這種類型的BAW 被稱為固態(tài)裝配諧振器(SMR) 。

  • 基于柔性基薄膜體聲波諧振器的研究《電子科技大學(xué)》2017年碩士論文

    按照限制聲波方式的不同,體聲波諧振器分為空氣隙型(FBAR)、固態(tài)裝配型(SMR)和硅背刻蝕型諧振器。傳統(tǒng)體聲波諧振器的制備工藝復(fù)雜、成本高。為了降低體聲波 

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