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    碳化硅處理

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    2017年11月26日-用于采用氫氟酸溶液對去除析出碳之后的碳化硅晶圓進行清洗。優選地,所述氫氟酸溶液的濃度為0.5%-10%。優選地,清洗處理的時間為30秒-10分鐘。優選地,所2017年10月31日-[0009]2)使所述碳化硅粉末被加熱溫度以使其分解從而形成富Si氣氛,少使所述碳化硅晶體的所述待處理表面位于所述富Si氣氛中,并使所述碳化硅晶體2020年1月18日-碳化硅(sic)又名金剛砂,是用石英砂、石油焦或煤焦、木屑等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。由于其化學性質穩定,硬度高,耐磨性能好等優點,碳化硅多用于制

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