碳化硅后線加工設備價格

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2020年11月29日-本發明公開了一種碳化硅單晶制造設備,其包括真空室(6)、設置晶種(5)的臺座(9)、源氣(3)的入口(2)、從所述真空室(6)的底面朝著所述臺座(9)延伸的反應室